25나노미터 이하 고해상도 3D엑스레이 반도체 검사장비 개발

[데일리한국 문병언 기자] 코스닥 상장사 자비스가 정부가 지원하는 ACT+ 사업자로 선정됐다.

산업용 엑스레이 검사장비 전문기업 자비스은 최근 산업통상자원부가 추진하는 우수기업연구소 육성사업(ATC+) 사업자로 선정됐다고 10일 밝혔다. 총 사업비는 30억원 규모로 2024년 말까지 45개월간 진행된다.

이번 연구 개발은 국내 최초로 AI 기반으로 추진되며 25나노미터(nm) 이하 고해상도 3D 엑스레이를 이용한 비파괴 반도체 후공정 감사장비 분야다.

산업통상자원부가 실시하는 ATC+ 사업은 중소·중견기업 부설연구소에 대한 연구개발(R&D) 역량 강화를 통해 기업을 성장시키고 산업 혁신의 핵심 주체로 육성하기 위해 추진되고 있다.

시장 조사기관 ‘자이온 마켓 리서치’에 따르면 산업용 엑스레이 검사장비 수요는 오는 2026년에는 10억8000여만달러(한화 1조2000억여원) 규모로 한 해 평균 7% 이상 성장하고 있다.

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