성윤모 산업통상자원부 장관(가운데)이 참석한 가운데 여문원 미코세라믹스 대표(왼쪽)와 김성한 SK하이닉스 부사장이 구매 협약식을 체결했다.
[데일리한국 문병언 기자] 미코세라믹스가 그동안 일본에서 전량 수입에 의존했던 반도체 CVD 장비용 고온 히터를 국내 최초로 개발에 성공, SK하이닉스와 구매 협약식을 체결했다고 28일 밝혔다.

반도체 CVD 장비용 고온 히터는 반도체 증착 공정장비에 소요되는 핵심부품으로 실리콘 웨이퍼를 균일한 고온 상태로 유지시켜 실란계 증착물질 등이 균일하게 증착될 수 있도록 한다.

미코세라믹스와 SK하이닉스는 국내 소재·부품·장비 산업 경쟁력 강화와 기술 자립화를 위해서는 수요기업과 공급기업의 긴밀한 협력이 필수적이라는 인식하에 기술개발·성능평가·구매에서 협력키로 했다.

미코세라믹스는 반도체 장비용 부품 사업에 전문화하기 위해 작년 ㈜미코로부터 물적분할한 기업으로 반도체 장비용 세라믹 히터, 정전척(ESC), 소모성 세라믹 부품 등의 생산에 특화된 기술을 보유하고 있다.

미코세라믹스는 420억원을 투자해 연간 3000개 반도체 CVD 장비용 고온 히터를 생산할 수 있는 공장을 신설 중이며 다음달 25일 준공 예정이다. 연간 800억원의 수입대체는 물론 해외 수출도 가능할 것으로 예상된다.

이날 협약식에 참석한 성윤모 산업통상자원부 장관은 “오늘 업무협약과 같은 연대와 협력의 움직임이 우리 소부장산업 생태계 전반으로 확산되고, 나아가 우리 제조업의 성장으로 이어지기를 기대한다”고 말했다.

또 “일본 수출규제에 대응해 2019년 9월 소부장 R&D에 착수해 우리 기업들이 18개월만에 매출 2151억원, 투자 3826억원 등 전례 없이 괄목할 만한 성과를 달성했다”고 강조했다.

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