삼성전자, 일부 공정에 日 불화수소 대체품 적용

　

사진=데일리한국 DB

[데일리한국 김언한 기자] 삼성전자가 최근 반도체 공정에 사용되던 일본산 불화수소를 일부분 국산품으로 대체했다.

3일 업계에 따르면 삼성전자는 최근 일본산 불화수소를 사용하던 일부 반도체 생산 라인과 일부 공정에 국내 업체가 생산한 불화수소 제품을 투입했다.

불화수소는 반도체 생산 공정에서 웨이퍼상에 회로를 새기거나(식각) 불순물을 화학적으로 떼어내는 세정에 사용된다.

삼성전자는 지난 7월 초 일본이 불화수소를 포함한 반도체 및 디스플레이 핵심소재 3종의 수출을 규제한 뒤 국내·외 불화수소 제품의 공정테스트를 벌여왔다.

한편 SK하이닉스도 일본산 불화수소를 대체하기 위해 국내·외 제품을 대상으로 한 시험을 벌이고 있으며, LG디스플레이는 최근 국산 불화수소를 공정에 투입한 것으로 알려졌다.